Saklaw ng Paglalakbay
20mm
Resolusyon
0.125μm
Pag-uulit
<1μm
Pagkatuwid
<2μm
Paralelismo
<5μm
Pitching
10″(50μrad)
Humikab
Pinakamataas na Bilis
5mm/seg
Load Capacity
10kg
Timbang
1.5kg